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全自动无损激光划裂设备是如何工作的?一文解析其工作原理

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ningxueqin 发表于 前天 16:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
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  手机芯片越做越小、性能越来越强,背后离不开精密制造设备的支撑。全自动无损激光划裂设备就是其中之一,它能在头发丝直径几分之一的精度下完成芯片的精准分离,却不会损伤内部精密结构。那么,全自动无损激光划裂设备的工作原理是怎样的?

  一、高精度定位锁定

  全自动无损激光划裂设备启动后,首先通过视觉识别系统捕捉待加工晶圆的位置。搭载的高分辨率工业相机,会快速扫描晶圆表面的标记点,再结合运动控制系统,将晶圆调整到预设的加工坐标。整个过程误差控制在微米级,为后续的精准划裂打下基础。

  二、激光能量精准调控

  定位完成后,全自动无损激光划裂设备开始工作。不同于普通切割用的高功率激光,划裂设备采用特定波长的激光,能量被严格调控到刚好在晶圆内部形成微小应力层,而不会破坏晶圆表面的电路。激光沿着预设路径移动,在内部划出一条隐形的“分割线”。

  三、应力引导完成分离

  激光划刻完成后,全自动无损激光划裂设备会通过精密的施压装置,沿着隐形分割线施加均匀的微小外力。此时晶圆内部的应力层会引导裂纹自然延伸,最终实现芯片的无损分离。整个过程避免了机械切割可能带来的碎屑和损伤,保障芯片的良品率。

  通过上面的介绍,相信大家已经了解了全自动无损激光划裂设备的工作原理。这种集精准定位、激光作用与机械分离于一体的技术,正在3C电子、光伏等多个领域发挥作用。而海目星作为激光及自动化综合解决方案提供商,在这类设备的研发与应用上积累了丰富经验,为不同行业提供适配的无损切割解决方案。


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