国产高分辨电子背散射衍射仪样机研制成功

8月3日消息，据媒体报道，中国科学院上海硅酸盐研究所曾毅研究员团队成功研制出国产高分辨电子背散射衍射仪（EBSD）样机。
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这一突破标志着我国攻克了长期被国外垄断的关键材料分析仪器技术，为材料科学研究和工业应用提供了坚实支撑。

EBSD是扫描电子显微镜的核心附件，能在微米尺度对材料进行高精度的晶体学显微结构分析。此前，全球仅有4家国外公司掌握其制造技术。

面对技术壁垒，曾毅团队实现了从硬件到软件的全方位创新。他们攻克了菊池花样高精度标定方法、核心探测器sCMOS相机以及动态真空密封等多项关键技术难题。

尤为突出的是，团队创新性地提出了“局部菊池带检测（LKBD）”方法，使平均角度偏差显著下降38.5%，大幅提升了条带识别精度；同时开发了基于“晶面间距高精度计算（误差<5%）”的辅助标定新方法，优化了菊池极筛选策略，将平均取向计算精度提升50%以上。这些核心技术突破有效保障了国产EBSD系统的准确性和可靠性。

据团队介绍，该国产EBSD样机已成功实现了花样标定、相鉴定、面分布采集等进口设备的基本功能。其成功研制，不仅实现了科研团队从设备应用者向仪器研制者的跨越，更将有力提升我国在高端材料表征仪器领域的自主创新能力和国际竞争力。